退火爐廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會生產(chǎn)力的發(fā)展,其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。 退火爐是一種新型換熱設(shè)備。退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風(fēng)循環(huán)。
退火爐的用途:
退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
退火爐按熱源分類:
退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用zui廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng),將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進行煤氣的助燃。
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